INFOPEDIA

MEMS

MEMS je zkratka anglických slov „Micro-Electro-Mechanical Systems“, v češtině Mikro-Elektrické-Mechanické-Systémy. Je to označení pro technologie společné integrace mechanických a elektronických struktur uvnitř integrovaných obvodů a zařízení. MEMES je integrace mechanických elementů, senzorů, akčních členů, řídící a vyhodnocovací elektroniky na jeden křemíkový substrát prostřednictvím různých výrobních technologií.

Princip MEMS technologie je založen na mechanických vlastnostech polovodičů -křemíku, který je pevnější než ocel, ale při třetinové hmotnosti. Výroba MEMS je založena na mnoha nástrojích a metodách, které jsou využívány k formování malých struktur o velikostech řádu mikrometrů. Většina metod byla převzata nebo upravena z výroby integrovaných obvodů. MEMS jsou vytvářeny na tenkém filmu nebo filmech polovodičového materiálu typu křemík Si nebo Germanium Ge. Využívají se různé druhy fotolitografických metod.

_{tags: MEMS PRINCIP, film germania}

««« Předchozí text: Vlastnost Border-color Následující text: Databáze »»»